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一氧化矽,分子式SiO,不溶於水。Si-O鍵長為150.7pm。SiO在1800℃真空中為黃褐色物質。一氧化矽不太穩定,在空氣中會氧化成二氧化矽,僅在高於1200℃才穩定。一氧化矽能溶於氫氟酸和硝酸的混合酸,其中並放出四氟化矽。一般它可由二氧化矽在真空中1300℃高溫下與純矽作用後迅速冷卻製得。[2]
一氧化矽可用如下反應製備[來源請求]:
S i O 2 + S i → 2 S i O ...
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