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EBR=EdgeBeadRemover。因為旋塗中有所謂的離心力,造成光阻會跑到晶邊與晶背,...EBR是使用溶劑噴洗的。另一種方法稱為WEE,WaferEdgeExposure,再加一層光 ...
EBR = Edge Bead Remover。 因為旋塗中有所謂的離心力,造成光阻會跑到晶邊與晶背, ... EBR是使用溶劑噴洗的。 另一種方法稱為WEE,Wafer Edge Exposure,再加一層光 ...尚達化工科技股份有限公司 | 食品添加物合法業者資訊網
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