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2021年7月7日 — 光阻稀釋劑常見的為OK73 或EBR7030 等產品，其中主要成份分別為丙二醇單甲基醚(PGME)與丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)這兩種化學物質。 □ OK-73 □ NTH-100 Read More

OK73 更薄, 對於消極和積極的光子學家。 用於去除晶圓邊緣、後側和塗層杯的光重劑。 良好的溶質，所有抵抗. VFR 薄納, 對於消極和積極的光子學家。 Read More

化學品名稱：光阻稀釋劑（OK-73）. 其他名稱：稀釋液(光刻顯像稀釋劑)、EBR7030、PP-73、PM Thinner. 建議用途及限制使用：光阻稀釋劑、光阻清潔劑. Read More

... 错误，猜测应为“vm（solvent）”但是我仍然没有查到这么简略的词语代表什么。 ... ok73我查到：光阻稀释剂（代号为OK-73，或者EBR-7030，或者PP-73），成分（CAS ... Read More

「ok73 thinner」+1。Section1-ProductandCompanyIdentification.Productname：Photo-ResistThinner/DilutionAgent（OK-73）.Othernames：EBR7030,PP-73. Read More

上述的光刻胶减量消耗剂可以是丙二醇甲醚(PGME)、乙酸丙二醇甲酯(PGMEA)、OK73稀释剂、环己酮(Cyclohexanone)、γ-丁内酯(Gamma-Butyrolactone)中的一种或者两种的 ... Read More