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半導體製造業空氣污染管制及排放標準沿革 | 食品添加物合法業者資訊網

半導體製造業空氣污染管制及排放標準沿革

法規名稱：,半導體製造業空氣污染管制及排放標準EN.發布日期：,民國88年01月06日.修正日期：,民國91年10月16日.法規類別：,行政＞行政院環境保護署＞ ...

 半導體製造業空氣污染管制及排放標準沿革

法規名稱：, 半導體製造業空氣污染管制及排放標準 EN. 發布日期：, 民國88 年01 月06 日. 修正日期：, 民國91 年10 月16 日. 法規類別：, 行政＞ 行政院環境保護署＞ ...

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法規內容 | 食品添加物合法業者資訊網
九、工廠總排放量：係指同一廠場周界內所有排放管道排放某單一空氣污染物之總和；單位為kg/hr。 十、污染防制設備削減量及排放削減率之計算公式如下： (一) 污染防制設備 ... Read More
半導體製造業空氣污染管制及排放標準§4 | 食品添加物合法業者資訊網
法規名稱：, 半導體製造業空氣污染管制及排放標準 EN ... 半導體製造業產生之空氣污染物應由密閉排氣系統導入污染防制設備，並處理至符合下表規定後始得排放。 Read More
半導體製造業空氣污染管制及排放標準 | 食品添加物合法業者資訊網
九、工廠總排放量：係指同一廠場周界內所有排放管道排放某單一空氣污染物之總和；單位為kg/hr。 十、污染防制設備削減量及排放削減率之計算公式如下：. （一）污染防制設備 ... Read More
半導體製造業空氣污染管制及排放標準沿革 | 食品添加物合法業者資訊網
法規名稱：, 半導體製造業空氣污染管制及排放標準 EN. 發布日期：, 民國88 年01 月06 日. 修正日期：, 民國91 年10 月16 日. 法規類別：, 行政＞ 行政院環境保護署＞ ... Read More
半導體製造業空氣污染管制及排放標準§6 | 食品添加物合法業者資訊網
一、空氣污染物輸入量（以溶劑或其他型式輸入製程之量）、輸出量（隨廢溶劑、廢棄物、廢水或其他型式輸出製程之量）、污染防制設備削減量等資料應每月記錄。 Read More
半導體製造業空氣污染管制及排放標準§5 | 食品添加物合法業者資訊網
依前條規定收集至污染防制設備處理之廢氣，其流量計及空氣污染物濃度連續自動監測器設置規定如下：. 一、污染防制設備之廢氣導入處或排放口應設置流量計。 二、揮發性 ... Read More
半導體製造業空氣污染管制及排放標準條文檢索結果 | 食品添加物合法業者資訊網
本標準專有名詞及符號定義如下：. 一、半導體製造業：指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業者。 二、積體電路晶圓製造作業（Wafer ... Read More
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